產(chǎn)品詳情
LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè),對(duì)圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。
主要性能指標(biāo):
工作溫度:200℃—1100℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度:≥600mm
硅片規(guī)格:適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度:≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過(guò)沖平衡:載料進(jìn)爐,溫度平衡到工藝時(shí)間,低于10分鐘
工藝氣體及控制:氮?dú)狻⒀鯕?,MFC或浮子流量計(jì)控制
氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7PaM3/S
送料機(jī)構(gòu):懸臂石英桿載料,手動(dòng)
報(bào)警系統(tǒng):工藝氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警
控制方式:工控機(jī)總程控制、觸摸屏控制