產(chǎn)品詳情
RTP快速升溫爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用國際先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，可以自由打開，安全可靠。爐管尺寸180MM，可以直接放下5英寸的材料。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的最低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完美完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。采用雙管設(shè)計(jì)，是石墨烯的制作的最好手段，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化工藝，配上電腦可以對溫度、真空和氣體流量實(shí)現(xiàn)控制。由于可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化控制，對于操作和實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性會(huì)非常有幫助，是實(shí)驗(yàn)室必備的一款設(shè)備。
|
項(xiàng)目
|
主要技術(shù)指標(biāo)
|
數(shù)據(jù)
|
|
規(guī)格型號
|
BTF-1200C-RTP-180
|
|
|
溫度控制
|
溫度點(diǎn)
|
1200℃
|
|
額定溫度
|
1100℃
|
|
|
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍
|
100～1050℃
|
|
|
溫度測量精度
|
±0.2℃
|
|
|
溫度控制重復(fù)性
|
±1℃
|
|
|
溫度控制精確度
|
±1℃
|
|
|
溫場均勻性
|
±2℃
|
|
|
溫度狀態(tài)工藝時(shí)間
|
2～100（100～1050℃）
|
|
|
升溫速率
|
300℃/S
|
|
|
降溫速率
|
1～300，可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時(shí)啟動(dòng)流量計(jì)閥控控制氣體冷卻
|
|
|
溫度控制模式
|
智能模糊全閉環(huán)控制
|
|
|
|
觸摸屏尺寸
|
7"LCD 工控電腦
|
|
物理指標(biāo)
|
功率（KW）
|
24
|
|
額定電壓
|
220V/AC380～400V 50-60HZ 自動(dòng)匹配
|
|
|
傳感器類型
|
K型
|
|
|
反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸
|
Φ180×580
|
|
|
式樣有效空間
|
6''
|
|
|
抽氣端口尺寸
|
KF25
|
|
|
供氣口尺寸
|
Φ6mm雙卡套
|
|
|
冷卻方式
|
自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
|
|
|
外形凈尺寸
|
長920×深500×高560mm
|
|
|
重量
|
約80Kg
|
