PFA花籃特氟龍清洗架多晶硅半導(dǎo)體清洗硅片晶圓片導(dǎo)電玻璃

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第7年

南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他規(guī)格型號(hào)其他
材質(zhì)丁腈橡膠產(chǎn)品類別其他
產(chǎn)品規(guī)格其他產(chǎn)地其他

產(chǎn)品詳情

  

PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍(lán) ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。

 

特點(diǎn)

1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿

2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸

3.耐高低溫：-200~260℃

4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關(guān)；

5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；

6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染

7.化學(xué)性能穩(wěn)定

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