氣體稀釋儀用氣體質(zhì)量流量控制器 美國ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器MC-100SCCM-D

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
100 13800.00元/臺(tái)
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第3年

北京芯笙微納電子科技有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌ALICAT型號MC-100SCCM-D
原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
工作壓力50適用介質(zhì)氣體
工作溫度0-50測量范圍1-1000
精度等級1測量精度1
安裝形式參考說明書加工定制是
外形尺寸是

產(chǎn)品詳情

艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、精準(zhǔn)地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達(dá)其設(shè)定值，使其能夠抑制管線壓力波動(dòng)，因而不會(huì)影響您的過程下游。定制化閥門選配項(xiàng)和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。

基于壓力的質(zhì)量流量儀表的性能：

  • 在大多數(shù)流量儀表上0.6%的讀數(shù)精度
  • 4 ms響應(yīng)時(shí)間
  • 無需預(yù)熱
  • 四個(gè)過程變量
  • 內(nèi)置的顯示
  • 工業(yè)協(xié)議
  • 壓力補(bǔ)償
  • 溫度補(bǔ)償
  • 寬動(dòng)態(tài)流量范圍



性能

  • 可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標(biāo)簽）
  • 可調(diào)比：200:1（MC系列）
  • 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
  • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
  • 可重復(fù)性：0.2%滿量程
  • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
  • 無需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

  • 兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度：-10°C至+60°C
  • 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）
  • STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

  • MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）


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