品牌KOFLOC | 型號3660 |
類型質量流量控制器 | 測量范圍0-100m3/h |
精度等級0.01 | 適用介質氣體&液體 |
產品詳情
展開
日本小島KOFLOC 3665質量流量控制器現貨
3665系列設計***,成本較低。***用于各個不同的領域
從實驗室和研究開發(fā)項目 到各種儀器設備的標準采用機種
發(fā)揮了很好的實際效果,另外還有有各種衍生功能可選
真空鍍膜 晶圓測試KOFLOC-3660系列質量流量控制器 KOFLOC中國性能參數
產品詳情 |
3660 |
3665 |
量程(N2) |
10SCCM-20SLPM |
30-150SLPM |
精度 |
±1.0%FS |
±1.5%FS |
有效范圍 |
2-*** |
5-*** |
重復性 |
±0.5%FS |
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響應時間 |
2秒 |
3秒 |
動作壓差 |
50-300Kpa |
150-300Kpa |
另有低壓差、高壓差產品可選 |
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耐壓 |
1.0Mpa |
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泄漏率 |
1*10-8pa·m?/s以下 |
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溫度范圍 |
5-45℃ |
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濕度范圍 |
10-90%RH(不能結露) |
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材質 |
本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 |
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密封圈VITON,選配NBR或FKM |
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電氣接口 |
DB9 |
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模擬信號 |
0-5V輸入/輸出 |
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供電 |
+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)250mA; |
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管路連接 |
標配1/4F9 |
標配3/8F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 |
選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 |
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重量 |
約1000g |
約1500g |
真空鍍膜 晶圓測試KOFLOC-3660系列質量流量控制器 KOFLOC中國電氣連接
針腳/顏色 |
定義 |
1針腳/棕色 |
閥門全開/全閉 |
2針腳/白色 |
0-5V輸出 |
3針腳/紅色 |
+15VDC |
4針腳/黑色 |
電源COM |
5針腳/黃色 |
-15VDC |
6針腳/灰色 |
0-5V輸入 |
7針腳/綠色 |
輸出COM |
8針腳/蘭色 |
輸入COM |
9針腳/紫色 |
閥門電源輸出 |
日本小島KOFLOC 3665質量流量控制器現貨
一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。
三:在使用質量流量控制器的時候,進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。
五:通氣體時,請先開氣源,后設定值。
六:切勿在沒有通氣的情況下,對流量控制器進行設定a。
七:使用完以后,請將流量控制器值歸零或斷電。
八:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態(tài) 再操作。