程控?cái)U(kuò)散爐-廠家直銷-支持定制

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  • 發(fā)貨地址: 山東 青島市
  • 發(fā)布日期:2024-09-13
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青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人:岳曉茜
  • 手機(jī):15314229122
  • 電話:0532-68017154
  • 營業(yè)執(zhí)照:已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式: 生產(chǎn)加工-私營獨(dú)資企業(yè)
  • 所在地區(qū):山東 青島市
  • 家家通積分:1210分

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詳細(xì)參數(shù)
品牌福潤德型號frd
密度cm3熔點(diǎn)其他
功率其他電壓其他
等級其他產(chǎn)品認(rèn)證其他
加工定制是否進(jìn)口
顏色其他產(chǎn)地山東青島

產(chǎn)品詳情

擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對所加工的硅
片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、 控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。

擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo):
可處理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu)
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1℃/24h
溫度斜變:可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率:5℃/min
送片裝置:手動(dòng)推拉
氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管
氣體控制:手動(dòng)浮子流量計(jì)
控制方式:程控

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