8寸晶圓傳輸模塊 Smif Specification Lpt 2200 Versaprt Inde

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泓滸(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌/廠家其他安裝類(lèi)型通孔
封裝/外殼12-SIP,裸焊盤(pán)反向恢復(fù)時(shí)間 (trr)其他

產(chǎn)品詳情


Wafer?Size:?

200mm

Cassette?Pick-up?Position:?

909mm?(35.8?inches)

Cassette?Positioning:?

To?within?±0.005?inches?(vertical)

SMIF-Pod?Load?Height:

900mm?(35.5?inches) Nominal

Maximum?Reach?of?Load?Arm: (Measured?from?front?face?of?LPT?to H-bar?of?SMIF-Pod)

307mm?(12.10?inches) Reversed?Cassette?Orientation

Height:?

1578mm?(62.13?inches)

Width:?

457mm?(18.00?inches)

Depth:?

478mm?(18.81?inches)

Weight: (Without?SMIF-Pod,?cassette,?wafers)

170?pounds(77.27kg)

Speed?of?travel?(Minienvironment):?

57.2mm?(2.25?inches)?per?second

Mounting:?

Tool?mount.?May?make?use?of?an?interface?frame?calibrated?to?lock?the?LPT?into?a?repeatable?b?onto?the?Process?Tool.

Power:?

3.5?Amp?(100-120vac) 2?Amp?(230vac)

Laser NOTE:LPT?is?a?Class?I?Laser?product when?used?with?a?SMIF-Pod

Diode?Laser;?Wavelength?=?670?nm Laser?Power?=?<1mW?(Class?II)

Communications:?

Serial?RS-232C?(SECS?I?/?SECS?II),?RS-485?(optional),?Bi-directional?Parallel?LAN


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