成都真空設(shè)備廠家 Research桌面真空鍍膜機 全封閉框架結(jié)構(gòu) 可定制

數(shù)量(套) 價格
10 1000000.00元/套
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  • 發(fā)布日期:2023-12-18
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詳細參數(shù)
品牌超邁光電型號CM-009
材質(zhì)不繡鋼功率100W
物料類型靶材加工定制
是否進口產(chǎn)地其他

產(chǎn)品詳情


1. 主體:全封閉框架結(jié)構(gòu),真空室為前開門方式,機柜和主機為一體式機構(gòu)。采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材料(SUS304),箱體尺寸為不小于φ350X400mm。設(shè)置DN100觀察窗口,位于真空腔體門正前方,骨架默認(rèn)白色(或鋁合金本色),門板為白色,四只腳輪,可固定,可移動。室體、真空機組、磁控靶等有斷水報警鎖定安全裝置,能夠防止停水后出現(xiàn)安全隱患。

2. 真空系統(tǒng):

2.1極限真空度:≤6.63×10-4Pa(空載、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮氣)。

2.2真空配置:高速直聯(lián)旋片泵一臺,抽速大于6L/S,超高分子泵一臺,抽速600L/s。

2.3真空測量:兩路電阻規(guī),一路電離規(guī);對真空室和真空管道分別精確監(jiān)控,帶數(shù)據(jù)通訊。

3. 工件架系統(tǒng):單工位4英寸工件盤,工件盤可加熱至500攝氏度,工件架真空室底部安裝,便于更換基片,轉(zhuǎn)速3~30rpm。

4. 照明裝置:照明裝置1套。

5. 磁控濺射系統(tǒng):配置2-3個Φ50mm磁控靶,安裝于真空室頂部,向下濺射成膜。

6.充氣系統(tǒng):二路分別配置質(zhì)量流量控制器,分別為0-100SCCM 1只,0-200SCCM1只,準(zhǔn)確度±1% F.S,線性±0.5 % F.S,重復(fù)精度±0.2% F.S。

7.循環(huán)冷卻水路:配置冷水機組與空壓機。

8.電氣控制系統(tǒng):采用功能化模塊設(shè)計方式,匹配西門子控制單元和MCGS人機界面,實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動控制,基本工作單元的控制,安全報警及故障信息顯示,并通過文字方式提示,軟件的功能和模塊可以根據(jù)實際需求進行單列或合并,但不得減少功能。

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