產品詳情
●形式：箱式一體機，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不，一體機系統(tǒng)，可連接單排雙工位手套箱，中間用DN150超高真空插板閥隔斷。
●真空系統(tǒng)：極限真空5X10-4Pa，主泵為復合分子泵，抽速600L/S,前級泵配置直聯(lián)泵，主閥匹配。
●真空測量：配數(shù)字復合真空計，均采用防爆金屬測量規(guī)。
●工件架系統(tǒng)：客戶需求定制，可放入4英寸掩模版，轉速3～30rpm變頻可調。
●烘烤系統(tǒng)：匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，*高烘烤溫度300℃。
●電阻蒸發(fā)源：水冷電極引入，2套電阻蒸發(fā)源，蒸發(fā)功率5KW，配置8KWE型電子槍1套，膜厚測試系統(tǒng)。匹配石英膜厚儀，可與擋板聯(lián)動。
●控制系統(tǒng)：成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng)，工業(yè)級10英寸觸摸屏和西門子PLC，能夠實現(xiàn)抽真空、工轉烘烤、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng)，采用聲光報警。
●輔助系統(tǒng)：配置冷水機1臺，空壓機1臺。
●說明：本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺，單邊4個手套，有效長度1.8米。
