成都真空設備廠家 Research手套箱蒸發(fā)鍍膜機 單排雙工位手套箱 可定制

數(shù)量(套) 價格
10 1000000.00元/套
  • 最小起訂: 1套
  • 發(fā)貨地址: 四川 成都市
  • 發(fā)布日期:2023-12-15
  • 訪問量:103
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詳細參數(shù)
品牌超邁光電型號CM-003
材質不繡鋼功率1000W
物料類型靶材加工定制
是否進口產地其他

產品詳情


●形式:箱式一體機,立式前開門,蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不,一體機系統(tǒng),可連接單排雙工位手套箱,中間用DN150超高真空插板閥隔斷。

●真空系統(tǒng):極限真空5X10-4Pa,主泵為復合分子泵,抽速600L/S,前級泵配置直聯(lián)泵,主閥匹配。

●真空測量:配數(shù)字復合真空計,均采用防爆金屬測量規(guī)。

●工件架系統(tǒng):客戶需求定制,可放入4英寸掩模版,轉速3~30rpm變頻可調。

●烘烤系統(tǒng):匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊,*高烘烤溫度300℃。

●電阻蒸發(fā)源:水冷電極引入,2套電阻蒸發(fā)源,蒸發(fā)功率5KW,配置8KWE型電子槍1套,膜厚測試系統(tǒng)。匹配石英膜厚儀,可與擋板聯(lián)動。

●控制系統(tǒng):成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng),工業(yè)級10英寸觸摸屏和西門子PLC,能夠實現(xiàn)抽真空、工轉烘烤、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程;支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng),采用聲光報警。

●輔助系統(tǒng):配置冷水機1臺,空壓機1臺。

●說明:本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺,單邊4個手套,有效長度1.8米。


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