英思特濕法RCA清洗機(jī)

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
1 100.00元/臺(tái)
  • 最小起訂: 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址: 江蘇 南通市
  • 發(fā)布日期:2020-06-17
  • 訪問(wèn)量:1430
咨詢電話:180-1243-7416
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江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人:陳經(jīng)理
  • 手機(jī):18012437416
  • 電話:-18012437416
  • 營(yíng)業(yè)執(zhí)照:已審核 營(yíng)業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營(yíng)模式: 生產(chǎn)加工-私營(yíng)有限責(zé)任公司
  • 所在地區(qū):江蘇 南通市
  • 家家通積分:617分
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詳細(xì)參數(shù)
品牌英思特型號(hào)001
類型RCA清洗機(jī)移動(dòng)方式其他
水溫藥液加工定制
驅(qū)動(dòng)方式自動(dòng),半自動(dòng)用途RCA清洗工藝是一種在半導(dǎo)體制程過(guò)程中被廣泛應(yīng)用的
外形尺寸定制重量定制
產(chǎn)地如皋

產(chǎn)品詳情


















設(shè)備主要用途:RCA清洗工藝是一種在半導(dǎo)體制程過(guò)程中被廣泛應(yīng)用的工藝,是去除硅片表面各類玷污的有效方法

設(shè)備結(jié)構(gòu)
主體:設(shè)備為半敞開(kāi)式,主體使用進(jìn)口 WPP15 和 10mm 厚板材,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長(zhǎng)期工作在酸腐蝕環(huán)境,堅(jiān)固耐用,雙層防漏,機(jī)臺(tái)底盤采用德國(guó)產(chǎn)瓷白 PP板,熱焊接? 而成,可長(zhǎng)期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中.

骨 架:鋼骨架+PP 德國(guó)勞施領(lǐng)板組合而成,防止外殼銹蝕.

安全門:前側(cè)下開(kāi)透明安全門,腳踏控制.

工藝槽:模組化設(shè)計(jì),腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中.底盤采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn).

管路系統(tǒng):位于設(shè)備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明;藥液管路采用 PFA 管,純水管路采用白色 NPP 噴淋管,化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過(guò)專用? 管道排放.

電氣保護(hù):電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機(jī)臺(tái)頂部電控區(qū),電氣元件有充分的防護(hù)以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運(yùn)行穩(wěn)定可靠;所有可能與酸霧接觸的電氣及線路? 均經(jīng) PFA 防腐隔絕處理,電氣柜 CDA/N2 充氣保護(hù)其中的電器控制元件.

排 風(fēng):后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計(jì),風(fēng)量可調(diào)節(jié),對(duì)操作員有安全保護(hù).

送風(fēng):設(shè)備頂部有 FFU 百級(jí)凈化送風(fēng)裝置,設(shè)備沿前側(cè)板鑲嵌入墻體,保證后上部送風(fēng)

水汽管:機(jī)臺(tái)前部配備有 PTFE 純水槍和 PTFE 氮?dú)夤芨?1 只置于右側(cè),方便操作員手工清洗槽體或工件.

控制系統(tǒng)
PLC可程式控制器(歐姆龍)+PROFACE 彩色人機(jī)界面操作。
模塊化軟件、硬件設(shè)計(jì),減少故障幾率,便于安裝和維護(hù);
空氣開(kāi)關(guān)、斷路器、電磁閥、按鈕、氮?dú)庹{(diào)壓閥,針閥、三色燈等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產(chǎn)品,安全可靠;
配備漏電斷路保護(hù)、隔離變壓器、漏液檢測(cè)、EMO開(kāi)關(guān)等安全保護(hù)裝置;
所有程序參數(shù)可修改,操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng),加液和花籃傳遞為手動(dòng);
電路區(qū)功能分塊,強(qiáng)電、弱電塊,便于維護(hù);
電氣控制部分均有清晰的標(biāo)簽注明
具密碼保護(hù)功能以避免操作人員誤改參數(shù):
Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。
Password-2可進(jìn)入手動(dòng)模式。
Password-3可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。




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