產(chǎn)品詳情
YTJ 高純凈型壓力表主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。產(chǎn)品根據(jù)潔凈度等級(jí),可分為 (YTJA) A 級(jí) (YTJB) / BA 級(jí)
(YTJE) / EP 級(jí) 3 種類型
◆ 根據(jù)使用特性可選擇 SUS316Ti、SUS316、SUS316L 等不同材料的測(cè)壓元件。
◆ 支持 G1/4、NPT1/4、9/16-18UNF、1/4VCR(M)、1/4VCR(F)等多種連接形式。
◆ 所有零部件都經(jīng)過超聲波純水處理。
◆ 選用無(wú)氧真空室的高純氬氣保護(hù)焊接作業(yè) 。
◆ 產(chǎn)品經(jīng)過嚴(yán)格的耐壓及氣密性檢測(cè)。氣密性可達(dá)到 1 × 10-10 Pa·m3 /s。
◆ 測(cè)量范圍:-0.1~0 至 0-35MPa。
◆ 示值精度:1.5%;2.5%。
高純凈表潔凈度等級(jí)
A 級(jí)
清洗:藥液超聲波清洗,純水超聲波清洗
組裝調(diào)試:潔凈室(潔凈度 10000)
包裝:N2
氣體吹掃,密封包裝
BA 級(jí)
零件:(氣體接觸部位)機(jī)械拋光處理
清洗:藥液超聲波清洗,純水超聲波清洗
潔凈度:等級(jí) VI(ASME B40,1 Level)
組裝調(diào)試:潔凈室(潔凈度 10000 ISO Class4)
工作臺(tái)(潔凈度 100 ISO Class2)
包裝:N2
氣體吹掃,PET 袋真空密封包裝
EP 級(jí)
零件:(氣體接觸部位)電解拋光
清洗:藥液超聲波清洗,純水超聲波清洗
潔凈度:(ISO Class 1) 在 0.1 μ m 以上的肉眼
不可見微粒子數(shù)量 10 個(gè)以內(nèi)。
組裝調(diào)試:潔凈室(潔凈度1000 ISO Class3)工作臺(tái)(潔凈度100 ISO Class2)
包裝:N2 氣體吹掃,PET 袋真空密封包裝