哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-11-50-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)單級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式同軸式加工定制否
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩10N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比466
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

（1） 加速管。為了獲得更高的能量（也就是運(yùn)動(dòng)速度），哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R正離子還需要在加速管中的電場(chǎng)下進(jìn)行加速。

（2） 掃描系統(tǒng)。注入機(jī)離子束斑約1~3cm2，需要通過(guò)掃描覆蓋整個(gè)硅片。可以通過(guò)固定硅片，移動(dòng)束斑，或者相反操作進(jìn)行掃描。掃描系統(tǒng)有靜電掃描、機(jī)械掃描、混合掃描和平行掃描。

（3） 工藝腔。離子束注入在工藝腔中進(jìn)行。哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R一般工藝腔包括掃描系統(tǒng)、硅片裝卸終端臺(tái)、硅片傳輸系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)，以及控制溝道效應(yīng)的裝置。

離子注入?yún)?shù)主要有劑量和射程。劑量是單位面積硅片注入的離子數(shù)，單位是原子每平方厘米（或離子每平方厘米）。射程是離子注入過(guò)程中，離子穿入硅片的總距離。注入機(jī)的能量越高，哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R則雜質(zhì)原子穿入硅片深度越大。

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