日本HD精密點(diǎn)膠機(jī)諧波CSF-11-30-2A-R?

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-11-30-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式同軸式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍機(jī)械設(shè)備減速比343
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

濕氧氧化速率快，但是表面有硅烷醇和光刻膠沾潤(rùn)不良，光刻時(shí)易浮膠，并能引起雜質(zhì)的再分布日本HD精密點(diǎn)膠機(jī)諧波CSF-11-30-2A-R若在濕氧氧化前先通一些時(shí)間干氧，有利于保持硅片表面的完整性日本HD精密點(diǎn)膠機(jī)諧波CSF-11-30-2A-R和生長(zhǎng)高質(zhì)量的二氧化硅，提高其間的表面性能；在濕氧氧化后再通入一段時(shí)間的干氧，可使?jié)裱跎L(zhǎng)的二氧化硅趨于干氧氧化膜的性質(zhì)，同時(shí)表面的硅烷醇或表面吸附的水分子轉(zhuǎn)變成硅氧烷(Si-O-Si)，從而改善了二氧化硅表面與光刻膠的接觸，使光刻時(shí)不易日本HD精密點(diǎn)膠機(jī)諧波CSF-11-30-2A-R浮膠。這樣做充分利用了干氧氧化和濕氧氧化的優(yōu)點(diǎn)，解決了生長(zhǎng)速率和工藝質(zhì)量的矛盾。

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