產(chǎn)品詳情
干法清洗的優(yōu)點在于清洗后無廢液,可有選擇性的進(jìn)行局部處理日本HD精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH。另外,干法清洗蝕刻的各向異性有利于細(xì)線條和幾何特征的形成。但氣相化學(xué)法無法有選擇性的只與表面金屬污染物反應(yīng),都不可避免的與硅表面發(fā)生反應(yīng)。各種揮發(fā)日本HD精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH性金屬混合物蒸發(fā)壓力不同,在低溫下各種金屬揮發(fā)性不同,所以在一定的溫度、時間條件下,不能將所有金屬污染物完全去除,因此干法清洗不能完全取代濕法清洗。實驗表明,氣相化學(xué)法可按要求的標(biāo)準(zhǔn)減少的金屬化污染物有鐵、銅、鋁、鋅、鎳等,另外,鈣在低溫下采用基于CL離子的化學(xué)法也可有日本HD精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH效揮發(fā)。工藝過程中通常采用干、濕法相結(jié)合的清洗方式。