哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-17-50-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式同軸式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比232
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

 干法清洗采用氣相化學(xué)法去除晶片表面污染物。哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH氣相化學(xué)法主要有熱氧化法和等離子清洗法等,清洗過程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應(yīng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室,反應(yīng)氣體與晶片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成易揮發(fā)性反應(yīng)產(chǎn)物被真空抽去。哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH各種污染物的去除措施分別列于表4。在CI包容環(huán)境中退火是一種典型的熱氧化過程,在氧化爐中進行,氬(Ar)濺射通常在濺射淀積前現(xiàn)場進行。

等離子清洗采用激光、微波、熱電離等措施哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH將無機氣體激發(fā)到等離子態(tài)活性粒子,活性粒子與表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子,產(chǎn)物分子進一步解析形成氣相殘余物脫離表面。 4 y)

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