產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：ONTO-聲學(xué)薄膜計(jì)量系統(tǒng)-MetaPULSE G
產(chǎn)品型號(hào)：MetaPULSE G
產(chǎn)品介紹：MetaPULSE 系列是金屬薄膜厚度測(cè)量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MetaPULSE G 系統(tǒng)可在所有金屬薄膜上提供良好的性能，并針對(duì)在邏輯、內(nèi)存和 3D 封裝工藝中至關(guān)重要的薄單層和多層應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。Onto Innovation 的PULSE技術(shù)提供了一種非接觸式、非破壞性技術(shù)，可測(cè)量產(chǎn)品晶圓上多層金屬薄膜疊層中每一層的厚度，而不會(huì)受到底層或?qū)蛹?jí)的干擾。與光學(xué)和 X 射線技術(shù)不同，PULSE 技術(shù)使用時(shí)間分辨聲學(xué)信號(hào)測(cè)量薄膜厚度，該聲學(xué)信號(hào)可用于有源芯片，無需特殊的計(jì)量測(cè)試場(chǎng)所。
性能特點(diǎn)：
使用飛秒超快激光進(jìn)行在線光聲測(cè)量
小光斑尺寸 (8x10μm) 可在 15μm 的場(chǎng)地尺寸內(nèi)進(jìn)行測(cè)量
超越節(jié)點(diǎn)要求的內(nèi)在工具對(duì)工具匹配
EASy 建模算法
用于維護(hù)車隊(duì)控制的配方管理器
偏移檢測(cè)
參數(shù)：
高達(dá) 60wph 的高吞吐量
金屬薄膜的典型厚度為 50? 至 8μm，可選擇延伸至 12um
能夠處理 150、200、300 和 450 毫米晶圓的自動(dòng)化選項(xiàng)
上海連航機(jī)電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)詢問，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國和美國設(shè)立了公司和倉儲(chǔ)，一舉鞏固了采購能力，擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢(shì)，進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平。
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