產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：ONTO-光刻系統(tǒng)-JetStep G45
產(chǎn)品型號(hào)：JetStep G45
產(chǎn)品介紹：JetStep G45 系統(tǒng)可滿足移動(dòng)顯示行業(yè)的苛刻要求。該系統(tǒng)基于成熟的步進(jìn)技術(shù)，將優(yōu)化的性能與良好的擁有成本相結(jié)合。JetStep G45 系統(tǒng)在 >200mm 的視場直徑范圍內(nèi)具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光學(xué)結(jié)合高速運(yùn)動(dòng)使系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)<0.5μm的覆蓋。JetStep G45 系統(tǒng)放大光學(xué)器件允許使用 6 英寸標(biāo)線片（掩模），與競爭技術(shù)相比，顯著降低了加工成本。此外，該系統(tǒng)占地面積小，可大限度地降低設(shè)施成本，其無摩擦運(yùn)動(dòng)可減少磨損，從而降低維護(hù)成本。綜合節(jié)省導(dǎo)致成本低廉的制造過程，降低了資本支出和擁有成本 (COO)。
性能特點(diǎn)：
自動(dòng)放大控制增加了工藝窗口
板載標(biāo)線管理系統(tǒng)提供大利用率
用于現(xiàn)場校準(zhǔn)的機(jī)載計(jì)量包
在每個(gè)曝光位置進(jìn)行動(dòng)態(tài)自動(dòng)對焦，以自動(dòng)調(diào)整面板拓?fù)渖系慕裹c(diǎn)
提供系統(tǒng)性能和故障排除反饋的板載診斷
參數(shù)：
分辨率達(dá) 1.5μm 的高保真投影鏡頭和照明系統(tǒng)
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 6 英寸光罩格式，用于經(jīng)濟(jì)的制造
上海連航機(jī)電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)詢問，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國和美國設(shè)立了公司和倉儲(chǔ)，一舉鞏固了采購能力，擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢，進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平。
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