產(chǎn)品詳情
導(dǎo)體漿料采用200目的絲網(wǎng)模版印刷在AIN流延坯片上,厚度約15μm,獲得圖形的最小線寬200μm。印刷過(guò)后對(duì)導(dǎo)線條進(jìn)行干燥,目的是緩慢地排除部分低分子量的有機(jī)載體,對(duì)導(dǎo)線條進(jìn)行初步的固化。實(shí)驗(yàn)表明,干燥時(shí)速度不宜過(guò)快,以防止溶劑快速揮發(fā)而產(chǎn)生缺陷。本實(shí)驗(yàn)的工藝條件為120℃,20min。經(jīng)通孔、疊壓工藝后獲得AIN多層生坯。疊壓工藝參數(shù)如溫度、壓力、保溫時(shí)間等均會(huì)對(duì) AIN 多層生坯片的質(zhì)量產(chǎn)生直接影響。實(shí)驗(yàn)采用疊壓溫度 60~80℃,壓力4MPa,時(shí)間 0.5~2min。圖2為多層 (三層 )AIN復(fù)合材料基板的金屬布線圖形 。氮化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)數(shù)控加工廠
共燒的初期段為A1N流延素坯的排膠階段。由于流延坯和金屬漿料內(nèi)含有大量的載體和粘結(jié)劑,燒結(jié)前必須排膠,才能進(jìn)入燒結(jié)階段 。
本實(shí)驗(yàn)采用空氣氣氛下二次排膠工藝,即在第一次升溫后,降溫,再進(jìn)入第二次升溫進(jìn)行排膠與燒結(jié)。具體工藝為:室溫→450℃,升溫速率約為 2℃/min;450℃ →室溫,自然冷卻 ;室溫 →600℃,升溫速率約為 5℃/min;600℃ → 930℃,在 600℃時(shí)通N?及微O?,升溫到 930℃,在 930°C 時(shí)保持 30min,進(jìn)行燒結(jié) 。
? 圖3為AIN流延坯片在空氣中的熱失重曲線;圖4為A1N流延坯片在氮?dú)庵械臒崾е厍€。升溫速率均為15℃/min。從圖中可以看出,兩者的排膠情況是不同的。在氮?dú)庵信拍z,在 250~350℃之問(wèn)出現(xiàn)快速排膠期,350℃以后有一個(gè)緩慢排膠期,持續(xù)至 450℃左右,排膠過(guò)程基本結(jié)束 。而在氧化性氣氛中,排膠集中在250~400℃之間的一個(gè)快速排膠過(guò)程中。從失重情況來(lái)看,空氣中400℃時(shí)失重約18%,氮?dú)庵?50℃ 時(shí)失重約10%,說(shuō)明前者比后者有機(jī)物的排除更為徹底。這是因?yàn)橄鄬?duì)于氮?dú)鈿夥罩械姆纸馀拍z而言,氧化性氣氛還提供了一個(gè)氧化排膠的途徑。排膠過(guò)程中有機(jī)物分解產(chǎn)生的大量殘余碳與氧反應(yīng),生成氣相化合物而揮發(fā) (C+O?=CO?↑)。氮化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)數(shù)控加工廠在線咨詢鈞杰陶瓷電話:137 1257 4098