產(chǎn)品詳情
全氟橡膠FFPM
全氟橡膠(Perfluoroelastomer)
優(yōu)點:
· 耐熱特性
· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性
· 低Outgassing 特性
· 優(yōu)異之抗Plasma特性
缺點:
· 耐低溫特性較差
· 原料價格較高
· 生產(chǎn)難度較高 · 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
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